等离子清洁机，或者仪，是一种全新的高科技技术，利用等离子体来达到常规清洗方法无法达到的效果。等离子体是物质的一种状态，也叫做物质的第四态，并不属于常见的固液气三态。对气体施加足够的能量使之离化便成为等离子状态。等离子体的“活性”组分包括：离子、电子、原子、活性基团、激发态的核素（亚稳态）、光子等。机就是通过利用这些活性组分的性质来处理样品表面，从而实现清洁、涂覆等目的。

等离子体产生的条件：足够的反应气体和反应气压，反应产物须能高速撞击清洗物的表面，具有足够的能量供应，反应后所产生的物质必须是可挥发性的细微结合物,以便于真空泵将其抽走，泵的容量和速度须足够大,以便迅速排出反应的副产品,并且需要快速地再填充反应所需的气体。

等离子体放电过程中产生臭氧的基本原理是含氧气体在放电反应器内所形成的低温等离子体氛围中，一定能量的自由电子将氧分子分解成氧原子，之后通过三体碰撞反应形成臭氧分子，同时也发生着臭氧的分解反应。

臭氧，化学分子式为O3，又称三原子氧、超氧，因其类似鱼腥味的臭味而得名，在常温下可以自行还原为氧气。比重比氧大，易溶于水，易分解。由于臭氧是由氧分子携带一个氧原子组成，决定了它只是一种暂存状态，携带的氧原子除氧化用掉外，剩余的又组合为氧气进入稳定状态，所以臭氧没有二次污染。

如果我们通入的气体中含有氧气，那么在反应过程中就会产生少量的臭氧，正是因为有臭氧的产生，所以我们在使用等离子清洗机的时候有时会闻到一股臭味，这就是为什么等离子清洗机会产生臭味的原因了。

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