高频腔是高能粒子回旋加速器上一个重要部件，为粒子在真空管道内加速到接近高速旋转运行提供能量。普通高频腔为铜材料，功耗P为470kW，超导材料铌制造的功耗P为1W。但铌的临界超导温度为9K，必须浸泡在4.2K的液氦里才能使用，为铌腔镀上一层特殊材料可以提高超导温度，节约大量制冷设备的费用。按理论结算，温度提高1倍，制冷费用降低10倍，超低温制冷设备均为进口，为国家节约大量外汇。

铌蒸镀特殊材料后，必须经过一道超高真空洁净热处理，才能使蒸镀材料性能稳定。作为超导材料，必须在真空度非常高(10-7Pa)，非常洁净的环境下热处理，否则极微小的氧化及污染，都会造成电阻的提高，从而在高频超大电流下局部快速升温，导致烧毁整个部件。现有市场的真空热处理装置无法满足此要求，一般真空炉炉内有加热器，绝缘材料，热屏蔽等大量零件，真空度最好在10-5Pa，并且高温下挥发物多，必然污染高频腔。

所要解决的技术问题是提供一种高频超导腔用超高真空热处理炉，新增一个外真空腔，将加热器，热屏蔽等布置在炉腔外，从而使炉内除了炉壳的金属材料外，无其它物质，为超高真空和无污染源的环境提供了实现的可能性。

通过以下技术方案来实现的：一种高频超导腔用超高真空热处理炉，包括机架，以及安装于机架上的离子泵，离子泵包括离子泵外壳，外壳内部具有一个加热内胆，加热内胆与外壳之间形成一个外真空腔室，加热内胆内部形成一个内真空腔室，外壳的顶部设置一个工件输送管，工件输送管与内真空腔室相通，工件自工件输送管输送至内真空腔室中，所述外真空腔室内安装有加热器以及热屏蔽层，所述热屏蔽层环绕着外真空腔室内壁一圈设置，加热器对加热内胆进行加热。

二、在炉壳外布置了一个外真空夹层，将加热器、绝缘材料、热屏蔽等安装在真空夹层内，如此结构设计，使真空炉既能实现超高真空，无污染，又能实现设备的可靠运行。

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